介绍

ER-3MA-09 是一款具有数字输出功能的三轴MEMS 加速度计。其具备低噪声、极小的温度漂移以及出色的长期稳定性，非常适合高精度测量系统。该设备采用陶瓷封装，确保在长时间内性能可靠。

特点

高稳定性三轴 MEMS 加速度计

量程：40g

集成温度传感器

数字输出接口

工作电压：3.0V 至 3.6V

陶瓷封装（6×6×2.2 毫米）

工作温度范围：-45 至 +85°C

应用

结构健康监测

状态监测

倾角测量

平台稳定

机器人

惯性测量单元(IMU)

规格

	参数	单位
型号	ER-3MA-09
封装	CLCC14
轴向	X，Y，Z
量程	40	g
标度非线性	<1000(X,Y),<5000(Z)	ppm（全尺寸的IEEE规范）
带宽（可调）3db	≥200	Hz
延时	<1.5	ms
出厂前零偏室温	±1mg（X，Y），±1.5mg（Z）	mg(室温标定值)
出厂前零偏温漂	<5	mg
出厂前零偏温度滞回	<1.5	mg
零偏稳定性 1s平滑	100ug（X，Y）,150ug（Z）	ug
零偏稳定性 10s平滑	75ug（X，Y），100ug（Z）	ug
零偏不稳定性	20ug（X，Y）,25ug（Z）	ug
开关重复性 1σ	<50ug（X，Y），<75ug（Z）	ug
出厂设置标度	12800±13	Lsb/g(室温标定值)
标度温度系数	100	ppm/摄氏度
标度温补后残差	100	ppm（二阶补偿）1sigma
启动时间	<200	ms
采样频率(可调)	4K	Hz
带电冲击	3000	g
不带电冲击	3000	g
振动整流误差(6grms)	1（X，Y）3（Z）	mg/grms
工作温度	’-45-+85	摄氏度
电源电压	3.3±10%	V
电流	<600	uA
通信接口	SPI

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