介绍

MEMS（微机电系统）加速度计是使用MEMS技术制造的加速度计。由于使用了微机电系统技术，其尺寸大大减小，MEMS加速度计的尺寸只有指甲的一小部分。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。

ER-MA-6是一种惯性传感器，可以测量重力引起的线性加速度。本产品是一款大量程、超高精度、高可靠性、低功耗的MEMS加速度计。

特点

大量程、超高精度、高可靠性、低功耗

二阶非线性：<10µg/g2

零偏稳定性（1s平滑）（1σ）：<15ug

零偏稳定性（10s平滑）：<5ug

零偏不稳定性（艾伦方差）：<2ug

应用

惯性测量：惯性制导、过载测量、组合导航

倾斜测量：天线姿态、平台测量、倾斜角度测试

振动测量：机械设备、桥梁和水坝、安全测试

规格

参数	加速度计	单位
产品型号	ER-MA-6
封装	CLCC48
轴向	Y
量程	60	g
标度非线性	<500ppm	ppm(全尺寸的IEEE规范)
带宽(可调)3db	>150	Hz
群组延迟	<3	ms
二阶非线性系数	<10	µg/g2
噪声	<30	µg/√Hz @1hz
阈值	<30	µg
出厂零偏（室温）	<±1	mg(室温标定值)
出厂零偏温度漂移	<±0.5	mg
出厂零偏温度滞后	<0.2	mg
补偿后的偏差	<±0.15	mg
零偏稳定性 (1s 平滑) (1σ)	<15	ug
零偏稳定性 (10s  平滑)	<5	ug
零偏不稳定性 (艾伦方差)	<2	ug
月重复性	<±0.03	mg
重复性1σ	<10	ug
标度因数	20000000	lsb/g(室温标定值)
标度因数月重复性	<±20	ppm
温度系数	<40	ppm/°C
补偿后的比例系数	<100	ppm
启动时间	<500	ms
采样频率(可调)	>10K	Hz
冲击(带电)	300	g
冲击(不带电)	300	g
震动	18	g
工作温度	-40~+85	°C
电源电压	5±0.25	V
电流	<30	ma
通信接口	SPI

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