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MEMS加速度计如何实现“微克级”超高精度测量?

在精密导航、结构健康监测、高动态姿态控制等领域,加速度计的精度直接决定了系统的性能上限。传统高精度加速度计往往体积大、功耗高、成本昂贵,难以在嵌入式、移动平台中广泛应用。那么,有没有一款产品,既能实现“微克级”超高精度,又兼备MEMS的小体积、低功耗特性?

答案是:ER-MA-6超高精度MEMS加速度计。

为什么“微克级”精度如此重要?

在惯性导航中,零偏稳定性直接影响定位漂移;在机械设备的使用过程中,微小的振动信号里藏着安全隐患;在航天器姿态调整中,任何细微的加速度误差都可能导致任务失败。这些场景对加速度计的长期稳定性、噪声水平和温度漂移提出了近乎苛刻的要求——而这一切,都指向同一个核心指标:微克级测量能力。

ER-MA-6正是在这样的需求背景下诞生的。它不仅仅是一款MEMS加速度计,更是一款真正具备惯性级性能的微型传感器。

ER-MA-6如何做到“超高精度”?

✅ 核心指标突破行业界限:

零偏不稳定性(艾伦方差)<2μg
长期稳定性极佳,适合长时间高精度惯性测量。

零偏稳定性(10s平滑)<5μg
在短时间窗口内依然保持极高信噪比。

噪声密度<30μg/√Hz @1Hz
在低频段仍保持低噪声,适用于振动监测与姿态解算。

二阶非线性<10μg/g²
在高动态范围内仍保持优异线性度,避免失真。

✅ 全温区高稳定性:

内置温度补偿机制,确保在-40℃~+85℃范围内始终保持高精度。

出厂零偏温度漂移<±0.5mg,温度滞后<0.2mg,大幅降低环境带来的误差。

✅ 高动态与大带宽:

量程达60g,适用于高过载场景。

带宽>150Hz(可调),采样频率最高可达10kHz,能捕捉快速变化的加速度信号。

参数卓越,更适配多元场景

ER-MA-6所承载的,不仅是技术的性能上限,更是一个多场景适配的解决方案:

惯性测量与导航
适用于机械臂、车载组合导航系统,提供稳定可靠的加速度信息。

倾斜与姿态测量
可用于天线调平、平台稳定、工程机械姿态监控,精度高、响应快。

️工业与测试设备
高带宽、高线性度适合用于振动台、冲击测试、过载记录等精密测量场景。

低功耗、小体积,更适合集成

ER-MA-6采用CLCC48封装,体积小巧,功耗低于30mA,支持SPI通信接口,极易嵌入现有系统中。无论是便携设备还是嵌入式监测节点,它都能轻松适配,提供“不计体积的高精度”。

精度,从未如此“轻巧”

在过去,高精度往往意味着大体积、高功耗、高成本。ER-MA-6 MEMS加速度计的出现,打破了这一固有认知。它用MEMS的工艺,实现了接近传统惯性级的性能,让“微克级”加速度测量变得可嵌入、可移动、可普及。


文章标签: MEMS加速度计​

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